成功減少了產品中的非金屬夾雜物
在半導體及醫療設備用途上，有助於提高生產效率和降低成本
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東京, 2018年1月10日 – (亞太商訊) – 田中控股株式會社（總公司：東京都千代田區、執行總裁：田苗 明）宣布田中貴金屬集團旗下經營製造事業的田中貴金屬工業株式會社（總公司：東京都千代田區、執行總裁：田苗 明）開始提供新開發的高質量Au蒸鍍材料“SJeva”樣品。由於本蒸鍍材料與過去的產品相比純度更高，所以可以通過減少貴金屬使用、減少工序提高生產效率及降低成本，而且還可以提高回收再生性。
本蒸鍍材料通過改善製造方法，比過去產品成功實現了蒸鍍材料中的非金屬夾雜物（※1）的降低。田中貴金屬工業雖然以往能生產純度在4N（含金量99.99%）～5N（含金量99.999%）的Au蒸鍍材料，但本蒸鍍材料是進一步充實高純度產品陣容的蒸鍍材料。通過使用非金屬夾雜物極少的蒸鍍材料，減少在蒸鍍材料溶解時凝結在表面的污垢成分，所以無需進行清洗。此外，高純度蒸鍍材料還可縮短成膜前的預熱時間（※2），可以減少對成膜不起作用的蒸鍍材料消耗，能降低成本。此外，由於本蒸鍍材料的氣體成分含量很少，有望帶來抑製成膜時從蒸鍍源產生的飛濺現象（※3）的效果，在進行高速率蒸鍍時也可減少基板上的顆粒（※4）吸附數量。
由於本蒸鍍材料具有以上的特點及優勢，在半導體領域內的細微配線、MEMS，以及光學裝置、LED、醫療設備等的使用蒸鍍材料製成的最終產品中，有望對提高終端用戶的生產效率、降低成本做出貢獻。
本蒸鍍材料的優勢
– 清洗工序的減少
通常蒸鍍材料根據用途會加工成丸狀、板狀、帶狀、線狀、顆粒狀等各種形狀，但是在蒸鍍時必須進行溶解。由於溶解時蒸鍍材料中的非金屬夾雜物會發生凝縮形成污垢，所以需要清洗工序。但是，由於本蒸鍍材料中的雜質非常少，無需清洗工序，可望減少工序。
– 通過縮短成膜前的預熱時間降低成本
由於高純度蒸鍍材料可縮短成膜前的預熱時間，可以減少對成膜不起作用的蒸鍍材料消耗，能降低成本。
– 抑製成膜時從蒸鍍源產生的飛濺現象，減少進行高速率蒸鍍時基板上的顆粒吸附數量
飛濺現象是在基板及成膜上引起顆粒及針孔等缺陷的，在蒸鍍時發生的具有代表性的問題。此外，提高蒸鍍率的成膜在提高生產效率方面也是值得期待的領域，但是蒸鍍率提高得越多越容易產生飛濺現象，如何解決成了面臨的課題。其原因是蒸鍍材料料中所含的氣體成分，由於本蒸鍍材料通過改善製造工序，成功地減少了氣體成分，有望帶來抑制飛濺現象的效果。
(※1)非金屬夾雜物：是指金屬材料內部的氧化物、硫化物等非金屬物質。
(※2)預熱時間：直至蒸鍍材料溶解的預先加熱時間。
(※3)飛濺現象：一種在成膜工序中在基板及成膜上引起顆粒及針孔等缺陷的，在蒸鍍時發生的具有代表性的問題。
(※4)顆粒：是指微粒、塵埃。顆粒會引起基板的特性及可靠性降低、產量下降。
新聞稿: http://www.acnnewswire.com/clientreports/598/170110_CH.pdf
田中控股株式會社（統籌田中貴金屬集團之控股公司）
總公司：東京都千代田區丸之內2-7-3 東京大樓22F
代表：執行總裁 田苗 明
創業：1885年
設立：1918年※
資本額：5億日元
集團連結員工數：5,120名（2016年度）
集團連結營業額：1兆642億5,900萬日元（2016年度）
集團之主要事業內容：作為田中金屬集團的核心持股公司，從事戰略性及效率性的集團運營及集團各企業的經營指導
網址：http://www.tanaka.co.jp（集團）, http://www.tanaka.com.cn（產業製品）
※2010年4月1日轉換到以田中控股株式會社為控股公司的體制。
田中貴金屬工業株式會社
總公司：東京都千代田區丸之內2-7-3 東京大樓22F
代表：執行總裁 田苗 明
創業：1885年
設立：1918年
註冊資金：5億日元
員工人數：2,269名（截至2017年3月31日為止）
營業額：1兆590億332萬9,000日元（2016年度）
經營內容：製造、銷售、進口及出口貴金屬 （白金、金、銀及其他）和各種產業用貴金屬產品
網址：http://www.tanaka.com.cn
關於田中貴金屬集團
田中貴金屬集團自1885 年（明治18年）創業以來，營業範圍以貴金屬為中心，並以此展開廣泛活動。在日本國內，以最高水準的貴金屬交易量為傲，長年以來不遺餘力地進行產業用貴金屬製品的製造和銷售，以及提供作為寶石飾品及資產的貴金屬商品。並且，作為貴金屬相關的專家集團，國內外的各集團公司進行製造、銷售以及技術一體化，攜手合作提供產品及服務。此外，為了不斷地推進全球化，在2016年還將Metalor Technologies International SA納入了集團企業當中。
田中貴金屬集團今後也將作為貴金屬的專家，通過事業的發展，為寬裕豐富的生活貢獻一己之力。
田中貴金屬集團核心5家公司如下所示 :
– 田中控股株式會社，純粹控股公司
– 田中貴金屬工業株式會社
– 田中電子工業株式會社
– 日本電鍍工程株式會社
– 田中貴金屬珠寶株式會社
報導相關諮詢處
田中控股株式會社
https://www.tanaka.co.jp/en/protanaka/inquiry/index.php
News URL: https://www.acnnewswire.com/press-release/simplifiedchinese/40738/
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