田中贵金属工业宣布探针用新合金“TK-FS”
開發了具有更高硬度、更低電阻率、更高折彎性的材料
在半導體檢查裝置的探針中，
可通過相同的材料對應廣泛的類型
東京, 2023年5月16日 – (亞太商訊) – 田中貴金屬集團旗下經營製造事業的田中貴金屬工業株式會社（總公司：東京都千代田區、執行總裁：田中 浩一朗）宣布用於半導體製造檢查工序的探針卡及測試用插座的探針用新合金“TK-FS”。本產品已從2022年7月起進行樣品發貨，並通過進一步推進研發，成為了具有更高性能的材料。
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田中貴金屬工業迄今為止主要製造銷售在半導體封裝最終測試用(後段工序)的測試用插座中，用於POGO PIN型探針的鈀(Pd)類材料。此次宣布的“TK-FS”材料不僅可用於POGO PIN型，還能對應晶圓測試用(前段工藝)探針卡的懸臂桿型、垂直型等類型廣泛的探針。本產品具有維氏硬度500以上、電阻率7.0µΩ･cm以下、耐重複折彎性10次以上等3個功能。這種能同時實現更高硬度、更低電阻率、更高折彎性等3個功能的材料，是田中貴金屬工業的現有產品中所沒有的，但本產品成功解決了此課題，實現了以相同的材料適用於各種類型的探針。
在半導體製造過程中，對半導體能否正常工作、能工作幾年、能否安全工作等問題，利用半導體檢查裝置分幾個階段進行檢查。半導體檢查裝置的檢測是為判斷使用半導體的產品的主要動作性能，要求具有更高的可靠性。如今隨着物聯網的普及，半導體不僅在電子設備領域，在汽車、家電等廣泛領域也成為必需品等，在半導體相關產品需求擴大的同時，預計半導體檢查裝置市場也將進一步擴大。
本產品是同時具有更高維氏硬度、更低電阻率、更高折彎性等功能的材料，所以可適用於各種類型的探針，可期有助於實現半導體檢查裝置的更長使用壽命和更低成本。
對於本產品，我們的目標是在2028年前出貨量達到現有產品的兩倍。將來，我們旨在將現有的大部分探針用產品轉換為“TK-FS”。田中貴金屬工業的目標是為預期今後不斷擴大的半導體市場發展做出貢獻。
“TK-FS”的特徵
– 同時實現維氏硬度500以上、電阻率7.0µΩ･cm以下、耐重複折彎性10次以上（本公司基準）等3個功能
– 通過創造性的加工技術，可在廣泛的維氏硬度（400～520）範圍內進行調整和提供
– 與田中貴金屬工業現有的探針材料相比，還具有更高的拉伸率（8％～13％）
關於田中貴金屬集團
田中貴金屬集團自1885年（明治18年）創業以來，營業範圍以貴金屬為中心，並以此展開廣泛活動。在日本國內，以高水準的貴金屬交易量為傲，長年以來不遺餘力地進行產業用貴金屬製品的製造和銷售，以及提供作為寶石飾品及資產的貴金屬商品。並且，作為貴金屬相關的專家集團，國內外的各集團公司進行製造、銷售以及技術一體化，攜手合作提供產品及服務。2021年度(2022年3月期)的連結營業額為7,877億日元，擁有5,225名員工。
※因從本合併會計年度開始採用收入確認相關會計準則，在部分交易中銷售額顯示為凈額。
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產品諮詢表
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新聞媒體諮詢處
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新聞稿: https://www.acnnewswire.com/docs/files/20230516_CH.pdf
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